完全組裝,隨時可用
通過集成的控制器控制渦輪泵、前級泵和可選的真空計(jì)
NW40、ISO63或CF63入口法蘭
選擇前級泵、E2M1.5油封泵T-Station 75W或XDD1 隔膜泵T-Station 75D
延時渦輪啟動選件,以便泵送更大容量
T-Station75 是 Edwards 新推出的入門級渦輪泵系統(tǒng)。它包括經(jīng)過實(shí)踐檢驗(yàn)的 EXT75DX,搭配油封的E2M1.5前級泵或XDD1隔膜泵,適用于需要完全干燥的應(yīng)用。T-Station 使用新的 TAG(Turbo和有源真空計(jì))控制器作為標(biāo)準(zhǔn)配置,可實(shí)現(xiàn)系統(tǒng)通過單按鈕啟動/停止、可控制其中一個有源真空計(jì)、排氣閥控制以及在真空計(jì)讀數(shù)匹配時延時或降壓啟動,因此T-Station非常適合一般的實(shí)驗(yàn)室需求。
英國Edwards愛德華從1939年開始制造真空設(shè)備直到現(xiàn)在,產(chǎn)品是半導(dǎo)體、平板顯示器、LED 和太陽能電池的制造過程中不可缺少的部分,應(yīng)用于日益多范圍化的工業(yè)過程,包括電力、玻璃和其他涂層應(yīng)用、鋼和其他冶金、制藥和化學(xué);適用于科學(xué)儀器和許多研發(fā)應(yīng)用。Edwards的技術(shù)專長和應(yīng)用經(jīng)驗(yàn)造就了創(chuàng)新型解決方案,可通過長期合作和伙伴關(guān)系幫助優(yōu)化制程。
NW40:42 ls-1
ISO63/CF63:61 ls-1
N2 壓縮比:>1 x 1011
50Hz 時的前級泵速度:
E2M1.5 1.6 m3h-1
XDD1 1.2 m3h-1
極限壓力:<5 x10-8 mbar
進(jìn)氣口法蘭:NW40、ISO63 或 CF63
排氣口法蘭:
E2M1.5 11mm OD 噴嘴或3/8英寸BSP
XDD1 裝配消音器或1/8英寸BSP
重量:
E2M1.5 22 kg / 48 lb
XDD1 18 kg/40 lb
噪音級別:55.4dB(A)
密封性:<1 x10-6 mbar ls-1
工作溫度范圍:10 至40°C/50至104°F