由于合適的容器尺寸和形狀以及消除死腔而脫穎而出。一個(gè)特別的優(yōu)點(diǎn)是它對(duì)容器內(nèi)容物的有效利用??呻姃伖獾能壍篮缚p確保載氣的高飽和度。HPL 系列提供以下版本:腌漬純度 (P)、高純度 (HP) 和超高純度 (UHP)。
閥門(mén)
我們使用 Ham-Let 90°單桿旋轉(zhuǎn)隔膜閥作為起泡器的標(biāo)準(zhǔn)配置。以下制造商的閥門(mén)也可根據(jù)要求提供:Swagelok、Carten Controls、Parker 和其他閥門(mén)。
分頻功能
交叉功能是一種沒(méi)有死區(qū)的吹掃選項(xiàng),用于在化學(xué)品制造商場(chǎng)所填充期間或在起泡器連接到過(guò)程時(shí)從系統(tǒng)(包括入口和出口閥)中消除氧氣。因此,它為清潔氣路提供了一種簡(jiǎn)單、有效的解決方案。
液位傳感器
液位傳感器是一個(gè)信號(hào)發(fā)生器,它與液位指示器一起可靠地顯示起泡器中有機(jī)金屬化合物的殘留量。Dockweiler 為起泡器提供超聲波傳感器,具有指定的開(kāi)關(guān)點(diǎn)(90%、70%、30%、10%),用于指示填充液位。
極化連接器
直徑[mm]:63.5
連接高度[mm] :238
缸高[mm] :82.00
體積[毫升] :192
灌裝量 (90 %)[ml] :173
產(chǎn)率:97.68%
氦泄漏率:≤ 4.0 x 10-9 mbar l s-1
溫度穩(wěn)定:從 -50°C 到 +100°C(-58°F 到 +212°F)
起泡器是專(zhuān)門(mén)為半導(dǎo)體和化工行業(yè)開(kāi)發(fā)的工藝容器 (MOCVD)。它們用于有機(jī)金屬化合物的儲(chǔ)存、運(yùn)輸和去除。金屬有機(jī)氣相外延 (MOVPE) 和相關(guān)工藝用于生產(chǎn)光電元件,例如激光器、光電池和 LED。所有 Dockweiler 起泡器均經(jīng) DOT(交通部)批準(zhǔn),并符合 ADR(關(guān)于國(guó)際公路運(yùn)輸危險(xiǎn)貨物的歐洲協(xié)議),滿(mǎn)足適當(dāng)運(yùn)輸?shù)囊蟆?/p>