AURIGA Laser 與電子顯微鏡組合可以實(shí)現(xiàn)高速且精細(xì)的材料刻蝕。使用脈沖激光束在最短時(shí)間內(nèi)刻蝕樣品材料。借助聚焦離子束精準(zhǔn)地對感興趣的樣品區(qū)域進(jìn)行重新加工。在同一系統(tǒng)內(nèi)充分發(fā)揮 FIB-SEM 的成像品質(zhì)。
您能夠在同一系統(tǒng)中創(chuàng)建高分辨納米級圖像,使用 X 射線分析功能檢測樣品。同時(shí)還能夠在最短時(shí)間內(nèi)處理非導(dǎo)電材料樣品及其復(fù)雜的幾何結(jié)構(gòu)。只需一步操作便能獲得所有需要的信息。