HP-5系列濕度探頭是測量集成系統(tǒng),在一個通用設(shè)計中結(jié)合了吸附式濕度傳感器 - 電容式與氧化物(HS 2 Al 和 HS 2 Si)或聚合物電介質(zhì)(HC 1000、FE 09/1000和 MK 33). 傳感器焊接到探頭底座的真空通道上。它由標準的燒結(jié)青銅帽保護。濕度傳感器電容的變化通過測量探頭的電子換能器的混合集成電路轉(zhuǎn)換為頻率信號周期的變化。
HC 1000 約為 58 至 47 kHz
FE 09/1000 約為 22.5 至 18.5 kHz
MK 33 約為 83 至 74 kHz
-30 至 +120°C 用于 HC 1000、MK 33 和 FE 09/1000(參見工作圖)和 HS 2 Si
-30 至 +60°C 用于傳感器 HS 2 Al