LM 系列激光干涉測(cè)量探頭是長(zhǎng)度測(cè)量設(shè)備。使用這些探頭,可以在 20 或 50 毫米的測(cè)量范圍內(nèi)以納米精度進(jìn)行觸覺測(cè)量。 由于其尺寸和 Ø 8h6 的夾持柄直徑,測(cè)量探頭與傳統(tǒng)測(cè)量系統(tǒng)兼容。集成的激光干涉儀將電機(jī)驅(qū)動(dòng)的測(cè)量套筒的測(cè)量運(yùn)動(dòng)轉(zhuǎn)換為干涉信號(hào)。該光學(xué)測(cè)量信號(hào)通過光纜傳輸?shù)焦怆姽╇姾驮u(píng)估單元,并作為長(zhǎng)度值輸出。穩(wěn)定的 He-Ne 激光器(其光通過光纖饋送到激光干涉儀)以及對(duì)環(huán)境對(duì)激光波長(zhǎng)的影響的校正是高測(cè)量精度的基礎(chǔ)。操作和顯示通過單獨(dú)的顯示器或通過帶有軟件的 PC 進(jìn)行。
通過激光干涉測(cè)量方法獲得高精度和準(zhǔn)確度
高頻穩(wěn)定性氦氖激光器作為材料測(cè)量
在整個(gè)測(cè)量范圍內(nèi)恒定的測(cè)量力
在整個(gè)測(cè)量范圍內(nèi)具有良好的線性度
探頭的光纖耦合
抗電磁場(chǎng)