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400-888-1375

TOUSIMIS臨界點(diǎn)干燥器Automegasamdri-938

產(chǎn)品介紹

新型超臨界Automegasamdri-938系統(tǒng)由我們的內(nèi)部設(shè)計(jì)團(tuán)隊(duì)開發(fā),其目標(biāo)是傾聽您的需求,并將其融入我們的下一代產(chǎn)品中。幾十年來,您一直期待的經(jīng)典功能能夠?qū)崿F(xiàn)平穩(wěn)操作、準(zhǔn)確控制和再現(xiàn)性,在我們這個(gè)新的設(shè)計(jì)中再次顯現(xiàn)。

性能特點(diǎn)

  • 運(yùn)行室中的專用初始慢速填充可以實(shí)現(xiàn)理想的流體動(dòng)力學(xué),從而保留敏感的微型設(shè)備。
  • 通過可接近的部件,包括外部吹掃后過濾器組件,維護(hù)變得容易。
  • “渦流”技術(shù):非機(jī)械攪拌室,允許流體動(dòng)態(tài)交換,無需產(chǎn)生顆粒的摩擦裝置。
  • 集成閉合冷卻回路可快速降低腔室溫度,縮短工藝運(yùn)行時(shí)間。
  • 內(nèi)部SOTER(tm)冷凝器安靜地捕獲并分離二氧化碳廢氣和廢酒精。
  • 腔室插入件可實(shí)現(xiàn)腔室內(nèi)徑的變化,更大限度地提高LCO2消耗效率、工藝時(shí)間,并提供多種尺寸的晶圓工藝能力。
  • 處理室LCO2過濾至0.08μm,顆粒保留率達(dá)到99.999%+。
  • 每次運(yùn)行可處理五個(gè)8“(200mm)晶圓。包括以下HF兼容晶圓夾:8”(200mm)、6”(150mm)、4”(100mm)、3”(75mm)、2”(50mm)和10mm模具夾。
  • 通過觀察窗口實(shí)現(xiàn)腔室照明,有助于腔室狀態(tài)可視化。
  • 自動(dòng)處理與工廠默認(rèn)配方或自定義自己的能力。
  • 所有內(nèi)表面對(duì)二氧化碳和超純醇都是惰性的。
  • 可重復(fù)的操作參數(shù),確保結(jié)果的“再現(xiàn)性”。
  • 操作功能集成在溫度和壓力自動(dòng)調(diào)節(jié)中。
  • 潔凈室無靜電兼容設(shè)計(jì)。

可選功能與配件

8760-03:8“工藝室用KNURL螺母

8760-41:適用于Autosamdri、Automegasamdri和觸摸屏C系列的3A保險(xiǎn)絲

8760-42:適用于Autosamdri、Automegasamdri和觸摸屏C系列的8A保險(xiǎn)絲

8770-13:LED室燈,120V

8770-32:高壓軟管,5英尺

8770-33:高壓軟管,10英尺

8770-80:4“工藝腔室的腔室蓋

8785:雙T形過濾器組件

8770-83B:用于LCO2 T型過濾器或外部吹掃管線過濾器的0.5µm不銹鋼顆粒過濾器元件。

8784-05:LCO2儲(chǔ)罐連接墊片

8770-51T/916B:AutomegaSamdri-938和AutomegaSambri-916B的O型環(huán)

8770-48:流量計(jì)-與Automegasamdri-938或Automegasamdri 916B(180 SCFH)一起使用

8770-54:LCO2油箱秤,帶遠(yuǎn)程顯示器

8768H:8“-200毫米HF兼容晶圓架,容納5個(gè)晶圓

8768A:6“-150mm HF兼容晶圓架,容納5個(gè)晶圓

8768F:5“-125mm HF兼容晶圓架,容納5個(gè)晶圓

8768B:4“-100mm HF兼容晶圓架,容納5個(gè)晶圓

8768C:3“-75mm HF兼容晶圓架,容納5個(gè)晶圓

8768D:2“-50mm HF兼容晶圓架,容納5個(gè)晶圓

8768G:1“-25mm HF兼容晶圓架,容納5個(gè)晶圓

8768E:10mm方形HF兼容芯片支架,可容納5個(gè)芯片

技術(shù)參數(shù)

產(chǎn)地:美國(guó)

柜子:19.8" (50.3cm)寬x 31.7" (80.6cm)深x 44.5" (113.0cm)高

系統(tǒng)設(shè)置區(qū)域占地面積:27" (68.6cm)寬x 38" (96.5cm)深

腔室尺寸:8.50“內(nèi)徑x 1.25”深度

腔室容積:1162 ml

電壓:120V或220V

頻率:50-60Hz

流量控制:微型計(jì)量閥

晶圓尺寸:可達(dá)8"-200mm

編織線材質(zhì):SS316

編織線長(zhǎng)度:10ft/3m(其他長(zhǎng)度可根據(jù)要求提供,可達(dá)100ft/30m)

過濾器組件:雙T形,預(yù)裝

產(chǎn)品應(yīng)用

生物工程

植物學(xué)

昆蟲學(xué)

凝膠

石墨烯

MEMS

金屬有機(jī)框架

其他SEM CPD應(yīng)用程序


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