SENS4真空傳感器VPM-5

VPM-5 SmartPirani 真空傳感器基于新型技術(shù)，具有同類更好的性能，將熱導(dǎo)真空計的可用真空測量范圍擴(kuò)大了 1-3 倍，從而確立了新的性能標(biāo)準(zhǔn)。SmartPirani 真空測量傳感器采用 MEMS（微機(jī)電系統(tǒng)）傳感器技術(shù)，并結(jié)合了 Sens4 自身的新型數(shù)字信號處理架構(gòu)和創(chuàng)新測量算法。結(jié)合準(zhǔn)密的自動化制造和校準(zhǔn)流程，這款產(chǎn)品可提供無懈可擊的測量性能。通過集成 MEMS 隔膜傳感器，消除了熱導(dǎo)率真空計在粗真空范圍內(nèi)眾所周知的氣體依賴性，其精度性能可與更昂貴的電容式壓力計媲美。這一特性可確保對真空系統(tǒng)排氣過程進(jìn)行更準(zhǔn)確的控制，并可防止真空系統(tǒng)過壓。

從 1.0E-6 到 1333  mbar，9 個分度的超寬測量范圍

性價比高

氣體獨立測量范圍從 2 到 1 333  mbar

通過 USB 編程器輕松配置

0-10 VDC 可編程電壓輸出

數(shù)字 RS-232 或 RS-485 接口

引腳和輸出與其他供應(yīng)商的壓力表兼容

可選陶瓷或聚對二甲苯傳感器保護(hù)，用于腐蝕性應(yīng)用

可選固態(tài)設(shè)定點繼電器，用于外部控制

產(chǎn)地：丹麥

測量范圍（mbar）：1x10^-6 至 1333  mbar（7.5x10^-7 至 1000 托）

測量原理 1x10^-6 至 1.5 mbar：MEMS Pirani 熱導(dǎo)率

測量原理 1.5 至 2 mbar：混合 MEMS Pirani / 壓電讀數(shù)

測量原理 2 至 1333 mbar：MEMS 壓電電阻膜片

精度 1x10^-5 至 9.99x10^-5：讀數(shù)的 25%

精度 1x10^-4 至 7.99 mbar：讀數(shù)的 5%

精度 8.00 至 99.9 mbar：讀數(shù)的 1%

精度 100 至 800 mbar：讀數(shù)的 0.5%

精度 800 至 1099 mbar：讀數(shù)的 0.25%

精度 1100 至 1333  mbar：讀數(shù)的 0.5%

滯后 1x10^-3 至 10 mbar (IS019685:2017)：1 %

磁滯 10 至 1333 mbar（IS019685:2017）：0.1%

模擬輸出分辨率：16 位 (150 μV)

模擬輸出更新率：124 Hz

響應(yīng)時間（ISO 19685:2017）：<20 ms

溫度補(bǔ)償：+10 至 +50 °C

固態(tài)繼電器設(shè)定點范圍：5x10^-6 至 1333  mbar（3.75x10^-6 至 1000 托）

固態(tài)繼電器觸點額定值：50 V、100 mA_rms / mA_Dc

固態(tài)繼電器認(rèn)證：UL 認(rèn)證： 文件 E76270；CSA 認(rèn)證： 證書 1175739；EN/IEC 60950-1 認(rèn)證

工作環(huán)境溫度：-20 至 +50 °C

介質(zhì)溫度：-20 至 +50 °C

存儲環(huán)境溫度：-40 至 +120 °C

烘烤溫度（非工作）：+120 °C

Max ABS介質(zhì)壓力：10 Bar

安裝位置：任意

防護(hù)等級，EN 60529/A2:2013：IP40

濕度：98%，無冷凝

電源電壓：12-30 VDC

Max功耗：240 mW

反極性保護(hù)：是

過壓保護(hù)：是

內(nèi)部保險絲：100 mA（可熱恢復(fù)）

分析儀器、半導(dǎo)體加工、真空爐、薄膜鍍膜、太空模擬和飛行