新型耐腐蝕 MEMS PIRANI 真空傳感器帶來模式轉(zhuǎn)變

幾十年來，MEMS Pirani 傳感器一直被用于許多不同的真空應(yīng)用中，以測量和控制真空氣體壓力。MEMS Pirani 技術(shù)有很多優(yōu)點(diǎn)，但到目前為止，由于其暴露在外的材料，該技術(shù)的使用和適用范圍受到了限制。半導(dǎo)體行業(yè)常用的腐蝕性氣體和侵蝕性蝕刻工藝會損壞傳統(tǒng)的 MEMS Pirani 傳感器，因此電容式隔膜真空計(jì)和對流式 Pirani 真空計(jì)一直是半導(dǎo)體工藝暴露和其他惡劣環(huán)境下的理想選擇。

Sens4 現(xiàn)推出一系列新型 MEMS 皮拉尼傳感器，其保形保護(hù)涂層可有效阻隔腐蝕性氣體。根據(jù)不同的應(yīng)用，SmartPirani傳感器系列現(xiàn)在可選配陶瓷或聚對二甲苯保護(hù)層，以防止傳感器材料的腐蝕或氧化。

陶瓷具有很強(qiáng)的耐腐蝕性，是電容式隔膜真空計(jì)中真空傳感器隔膜的理想材料。陶瓷阻隔層選項(xiàng)專為半導(dǎo)體蝕刻和 CVD 應(yīng)用而設(shè)計(jì)。

聚對二甲苯是一種獨(dú)特的聚合物，具有高度耐腐蝕性和疏水性。Parylene 阻隔層專為醫(yī)療應(yīng)用而設(shè)計(jì)，包括但不限于凍干和滅菌。 

在某些應(yīng)用中，微粒會損壞真空計(jì)，針對這些應(yīng)用，SmartPirani 傳感器配有保護(hù)性擋板，可作為宏觀微粒的屏障。結(jié)合涂層選項(xiàng)，新型 SmartPirani傳感器可用于惡劣的真空環(huán)境。

“Sens4 A/S 首席執(zhí)行官 Ole Wenzel 表示："很明顯，我們在 2019 年推出的 MEMS SmartPirani傳感器技術(shù)在性能和堅(jiān)固性方面都優(yōu)于對流線皮拉尼真空計(jì)。”Ole繼續(xù)說道：“我們在各行各業(yè)都體驗(yàn)到，客戶希望從老式的對流線皮拉尼真空計(jì)轉(zhuǎn)向更先進(jìn)的現(xiàn)代真空計(jì)，而保護(hù)涂層則是擴(kuò)大我們傳感器技術(shù)應(yīng)用領(lǐng)域的一個(gè)推動因素。”

Sens4 A/S 首席技術(shù)官 Caspar Christiansen補(bǔ)充說：“我們不僅在皮拉尼傳感器上推出了保護(hù)屏障選項(xiàng)，還在壓電膜片上推出了不受氣體類型和濃度影響的測量功能。”卡斯帕繼續(xù)說道：“這種強(qiáng)大的耐腐蝕組合可提供同類的測量性能，測量范圍從 1E-6 到 1333 mbar，測量精度從 2 到 1333 mbar，不受氣體類型的影響。”